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薄膜厚度均勻度在線測量系統(tǒng)

簡要描述:薄膜厚度均勻度在線測量系統(tǒng)-MPROBE 60,MProbe 60 是一站式系統(tǒng),專為研發(fā)中心和小型制造而設(shè)計。它結(jié)合了測量厚度/n&amp;k 與自動化小點(diǎn)測量的能力。MProbe 60 已應(yīng)用于研發(fā)納米技術(shù)中心。

  • 產(chǎn)品型號:MPROBE 60
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 更新時間:2022-04-13
  • 訪  問  量:1397
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薄膜厚度均勻度測量系統(tǒng)MPROBE 60

薄膜厚度均勻度在線測量系統(tǒng)-MPROBE 60


MProbe 60 是一站式系統(tǒng),專為研發(fā)中心和小型制造而設(shè)計。它結(jié)合了測量厚度/n&k 與自動化小點(diǎn)測量的能力。MProbe 60 已應(yīng)用于研發(fā)納米技術(shù)中心??梢钥焖倏煽康販y量 1 nm至 2 mm的厚度,包括多層薄膜堆疊。不同的MProbe 60 型號主要受光譜儀的波長范圍和分辨率影響,進(jìn)而決定了可測量的厚度范圍。


薄膜厚度均勻度測量系統(tǒng)-MPROBE 60的優(yōu)勢:

1.具有靈活和模塊化的映射自動化的一站式系統(tǒng)

2.精度<0.01nm 或 0.01%

3.500+ 擴(kuò)展材料數(shù)據(jù)庫

4.軟件:用戶友好且功能豐富的 TFCompanion 軟件甚至可以處理zui復(fù)雜的應(yīng)用程序。層數(shù)沒有限制,支持背面反射、表面粗糙度、暗度等等。集成的相機(jī)和成像軟件允許精確定位測量位置并直接在圖像上顯示結(jié)果


薄膜厚度均勻度在線測量系統(tǒng)-MPROBE 60選型列表:

MProbe 60

波長范圍

厚度范圍

VISLX

400nm -1000nm

10nm – 75μm

UVVisSR

200nm-1000nm

1nm-75μm

UVVisF

200nm-900nm

1nm – 5μm

VISHR

700nm -1100nm

1μm – 400μm

NIR

900nm-1700nm

50nm -100μm

VISNIR

400nm -1700nm

10nm-100μm

UVVISNIR

200nm-1700nm

1nm-100μm

NIRHR

1530nm-1580nm

25μm-2000μm



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