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陰極發(fā)光儀/顯微鏡

簡要描述：昊量光電新推出用于微電子、半導體、絕緣材料、地質(zhì)學和礦物學材料測量的法國NewTec陰極射線顯微鏡。陰極發(fā)光是一種光譜方法，它可以在局部尺度上識別缺陷和雜質(zhì)，這些缺陷和雜質(zhì)與被電子槍轟擊的材料的發(fā)光特性有關(guān)。陰極發(fā)光儀/顯微鏡

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  • 更新時間：2021-06-23
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陰極發(fā)光儀/陰極發(fā)光顯微鏡

昊量光電新推出用于微電子、半導體、絕緣材料、地質(zhì)學和礦物學材料測量的法國NewTec陰極射線顯微鏡。陰極發(fā)光是一種光譜方法，它可以在局部尺度上識別缺陷和雜質(zhì)，這些缺陷和雜質(zhì)與被電子槍轟擊的材料的發(fā)光特性有關(guān)。陰極發(fā)光儀/陰極發(fā)光顯微鏡

 

 

陰極射線顯微鏡組成：

  • 配有相機的光學顯微鏡(低亮度)

  • 裝有電動樣品支架的真空室

  • 雙層真空泵及附件

  • 帶電纜電子槍

  • 電源控制器及控制軟件

 

陰極射線顯微鏡特點：

  • 等離子體穩(wěn)定控制

  • 自動擊發(fā)

  • 半定量測量

  • 分光計定量測量

  • 極限空間分辨率<1um

  • 可選項：加熱and/or冷卻

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