喜報!昊量光電喜獲法國Microlight3D DMD無掩模光刻機獨家代理。
上海昊量光電設備有限公司自2023年1月1日正式成為Microlight3D公司SMART PRINT UV系列DMD無掩光刻系統的中國區(qū)獨家代理商,此次獲得Microlight3D的授權,體現了Microlight3D對上海昊量光電設備有限公司市場銷售的專業(yè)度及售后技術支持力量的高度認可。我們將一如既往的為國內廣大用戶提供更為優(yōu)質的服務。
Microlight3D成立于2016年,在格勒諾布爾阿爾卑斯大學(Université Grenoble Alpes,UGA)進行了長達15年的3D微型打印技術研發(fā)。格勒諾布爾阿爾卑斯大學創(chuàng)建于1339年,是一所擁有近七百年歷史的國立綜合研究型大學,是歐洲最古老的大學之一,教學科研實力處于法國頂尖、世 界一流水平。作為具有世界影響力的法國公立大學,格勒諾布爾-阿爾卑斯大學先后誕生過3位諾貝爾獎獲得者(克勞斯·馮·克利青、路易·奈爾、熱拉爾·穆魯),1位圖靈獎獲得者(約瑟夫·斯發(fā)基斯)。
Microlight3D公司一直在快速發(fā)展,得益于Smart Print UV System在各地的實驗室和公立私立研究中心的大量銷售。
Microlight3D公司推出的DMD無掩模光刻系統Smart Print UV系列,是一種基于DMD投影技術的無掩模光刻設備,可兼容多種抗蝕劑和基材。Smart Print UV可以在微米分辨率下產生任何2D形狀,而不需要硬掩模。
Smart PrintUV系統特點:
♦ 最小特征尺寸1.5um
♦ 可更換目標的可調節(jié)寫入區(qū)域和分辨率
♦ 兼容CAD文件及bitmap文件
♦ 兼容SU-8、g線、h 線、i 線等絕大部分光刻膠
♦ 兼容多種基材(硅、玻璃、柔性薄膜、金屬、塑料等)
♦ 兼容多種樣品尺寸:2''和4''晶圓、4''和5''方形或者定制更大尺寸、顯微鏡矩形載玻片、14mm和25mm圓形載玻片
♦ 反饋相機:聚焦,對齊,準直
♦ 手動旋轉臺:360°可旋轉,精度 0.1°
♦ 桌面型,占地空間小
♦ 曝光速度相比同類型產品更快!
♦ ji具性價比!
♦ 軟件操作和設備維護簡單!
♦ 交貨周期短!
♦ 可免費打樣!
Smart PrintUV功能選件:
♦ 1X Objective 磁吸快速更換鏡頭
10.6 mm x 5.9 mm FOV and 15 µm resolution
♦ 5X Objective 磁吸快速更換鏡頭
2.1 mm x 1.2 mm FOV and 3 µm resolution
♦ 10X Objective 磁吸快速更換鏡頭
1.06 mm x 0.59 mm FOV and 1.5 resolution
♦ 4" 晶圓樣品支架
♦ 玻璃載玻片樣品支架
♦ 多用途大型樣品支架
兼容4" & 5" 方形基板, 2" & 4" 晶圓, 顯微鏡載玻片, 14 mm & 25 mm 圓形載玻片
♦ 定制化樣品支架
根據客戶要求,可適應更大樣品尺寸或多個樣品;兼容柔性膜材基底(New!)
♦ 保修期延期
設備保修期2年,軟件免費升級2年
Smart PrintUV核心規(guī)格:
型號 | SP-UV.Standard | SP-UV.Advanced |
光源 | 曝光波長:385nm;校準波長:590nm | |
最小特征尺寸 | 1.5um | |
對準準度(1cm2區(qū)域) | 2um | 1um |
拼接精度 | 2um | <1um |
最大曝光范圍 | 70×70mm2 | 110×110mm2 |
基板尺寸 | 4英寸(wafer) | 5英寸(方形) |
寫入速度 | 77mm2/min | 220mm2/min |
系統尺寸 | 長×寬×高:52(cm)×52(cm)×69(cm) |
軟件包:
電腦 | Windows 10Pro, 24inch屏幕 |
SFTprint軟件 | 機器控制、步進重復、自動劑量測試、拼接、對齊 |
SFT轉換器 | 將標準CAD格式(gdsii、dxf、cif、oas)轉換為機器格式;包含CAD軟件 |
鏡頭選項:
物鏡 | 1X | 2.5X | 5X | 10X |
寫入區(qū)域(mm) | 10.56×5.94 | 4.2×2.4 | 2.1×1.2 | 1.06×0.59 |
最小線寬(um) | 15 | 6 | 3 | 1.5 |
Smart PrintUV應用領域:
Smart Print UV是為需要制作表面微圖案、微結構的任何應用領域的wan美設計,如MEMS,微流體,二維材料,自旋電子學,生物技術和微電子等。
Microlight3D公司還有另外一款明星產品-雙光子聚合3D納米光刻機。
2007年,第一代雙光子聚合3D納米光刻機microFAB-3D問世,在中國大陸、中國臺灣和歐洲地區(qū)有大量的銷售。
2018年,公司獲得了法國研究與創(chuàng)新部頒發(fā)的公共研究領域最 ju創(chuàng)新力年輕公司獎。
2019年,推出了第一代緊湊型桌面式雙光子聚合3D納米光刻機。
2019年,Microlight3D完quan收購了無掩模光刻系統制造商SmartForceTechnologies。
未來,上海昊量光電設備有限公司將獲得Microlight3D更多的資源支持,昊量光電也將繼續(xù)秉承互利共贏的發(fā)展理念,充分發(fā)揮自身強大的專業(yè)技術溝通和服務優(yōu)勢,力爭為國內MEMS,微流體,二維材料,自旋電子學,生物技術和微電子等應用領域的研究和推廣貢獻一份力量,滿足并不斷超越客戶的期望,致力于為國內前沿的科研與工業(yè)領域提供優(yōu)質的產品與服務,助力中國智造與中國創(chuàng)造。
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上海昊量光電設備有限公司是光電產品專業(yè)代理商,產品包括各類激光器、光電調制器、光學測量設備、光學元件等,涉及應用涵蓋了材料加工、光通訊、生物醫(yī)療、科學研究、國防、量子光學、生物顯微、物聯傳感、激光制造等;可為客戶提供完整的設備安裝,培訓,硬件開發(fā),軟件開發(fā),系統集成等服務。
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